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    EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀

    簡要描述:EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2024-06-08
    • 訪  問  量:641

    詳細介紹

    品牌其他品牌產地類別國產
    類型其他應用領域能源,電子/電池,電氣

    EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

    EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀

    EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀產品介紹:

    EddyCus® map 2530系列在非接觸模式下自動測量大型樣品的薄層電阻,最大可達300×300平方毫米(12×12英寸)。在手動樣品定位時,該設備會自動測量并顯示整個樣品區域的薄層電阻的準確映射。測量設置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時間或超過 10,000 個測量點的高空間測量分辨率之間進行選擇。

    EddyCus® map 2530RM電阻率測試儀




    產品特點:

    · 非接觸式

    · 快速、高重復度測量

    · 高分辨率成像

    · 最大 300 x 300 mm(12")的樣品成像測量

    · 封裝的導電層的表征

    · 軟件集成分析功能,例如電阻均一性分布、線掃描、單點分析

    · 測量數據保存和導出功能

    · 缺陷識別、分析


    產品優勢:

    ·  非接觸式成像

    ·  高速 (5 分鐘測量10,000個檢測點)

    ·  重復性和精確性

    ·  高分辨率 (9 90,000個檢測點)

    ·  封裝后的膜層成像

    ·  均勻性和缺陷成像


    產品參數

    測量技術

    非接觸式渦流傳感器

    基材

    晶圓(錠)、玻璃、箔等

    最大限度。掃描區域

    12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根據要求更大)

    邊緣效應校正/排除

    2 10 毫米(取決于尺寸、范圍、設置和要求)

    最大限度。樣品厚度/傳感器間隙

    3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的樣品定義)

    金屬薄膜(如鋁、銅)的厚度測量

    2 nm 2 mm (根據薄層電阻)

    掃描間距

    1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他應要求提供)

    每次測量點數(方形樣品)

    0.5 分鐘 100

    個測量點 3 分鐘 10,000 個測量點

    掃描時間

    8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 10 分鐘(1 – 10 毫米間距)

    12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 6 分鐘(2.5 – 25 毫米間距)

    設備尺寸 (w/h/d)

    31.5" x 19.1" x 33.5" / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米

    重量

    90公斤

    更多可用功能

    金屬厚度成像、各向異性和薄層電阻傳感器


    VLSR

    LSR

    MSR

    HSR

    VHSR

    范圍 [歐姆/平方]

    0.00010.1

    0.110

    0.1100

    102000

    1,000200,000

    精度/偏差



    ± 1%

    ± 13%

    ± 3 5%

    重復性 (2σ)



    < 0.5%

    < 1%

    < 0.5%

    軟件和設備操控:

    · 人性化的軟件

    · 實時測繪測量

    · 易于使用的統計分析選項

    · 預定義的測量和產品配方(尺寸、間距、閾值)

    · CSV 和 pdf 導出

    · 3 用戶級別

    · 用于參數轉換的材料數據庫

    · 邊緣效應補償

    · 數據的存儲和導入

    · 數據集的導出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)



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