Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀

Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀通過的技術力對多樣研究所有的表面提供優化解決方案。所有的功能實現全自動快速運轉。

NVF-2700可以快測量所有表面的測量儀，利用持有的白光干涉儀WSI和相應算法開發的產品。X，Y，Z軸全部設計為全自動，通過可調節F.O.V鏡頭，自動構成多樣的倍率。此產品專為研究所，大學和工藝管理而制作的產品。此設備可以通過拼接（Stitching）功能可以進行大面積（500?）測量。

得到的WSI/PSI技術，只需要表面有1%的反射率即可測量，表面現象中的高度，寬度，幅度，粗糙度(Ra, Rq, Rz, Rt, etc)等各種項目均可測量。

此外，WSI的高度分辨率為0.1nm，2秒鐘時間即可掃描所有的表面，在不破壞樣品的情況下,可測定0.1nm到1000um的樣品，均可觀察2D/3D的現象。不僅如此，更是保障了0.1%(1σ)世界水準的重復性，本公司保有的技術可應用于 PCB, display, engineering part, chemical material, optical parts, bio, R&D等方面。

Nanosystem NVF-2700 非接觸式3D輪廓儀的優點

·       優良的測量精度

·       抗振動設計

·       快速測量速度

·       友好的測量界面

·       Stitching功能

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌測量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)

·       高度，深度，寬度(從亞納米到10mm)·

·       面積信息(體積，面積)

·       2D和3D 測量

特點

Fast ,Reliable, Fine = Reducing R & D Time

納米級的幾何光學測量

粗糙度，段差，細微形貌，薄膜表面

Full range scan只需要兩秒! 掃描速度Max. 116μm/S

兩步A/F簡單準備的全自動聚焦

ISO Roughness參數（ISO25178/12781/4287等）

可一次性分析透明薄膜厚度及內部形貌（選購）

產品規格：

測量方法：白光掃描干涉法/相移干涉法

FOV鏡頭：4位電動轉塔，可加裝F.O.V（選項）

干涉物鏡：5物鏡可選(程控）

光源：白光LED照明

掃描范圍：≤270um（PZT）

掃描速度：12μm/sec (1x~5x用戶可選)

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

橫向分辨率：0.2-4μm（取決于物鏡和FOV）

臺階高度重復性：0.1％@1σ (標準8um臺階樣品)

傾斜度：±6°

XY行程：100mmX100mm

工作臺尺寸： 230X230mm（程控）

選項

FOV鏡頭： 0.5X，0.75X，1X，1.5X，2X(可選)

干涉物鏡：2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x (可選)

掃描范圍：多達可達10mm（電機掃描選項）