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    奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測量顯微鏡

    簡要描述:奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*消除,以確保實現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

    • 產(chǎn)品型號:
    • 廠商性質(zhì):代理商
    • 更新時間:2019-10-26
    • 訪  問  量:2683

    詳細(xì)介紹

    品牌OLYMPUS/奧林巴斯價格區(qū)間面議
    產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,航空航天,汽車及零部件

    奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測量顯微鏡

    通過整合光學(xué)顯微鏡的測量能力實現(xiàn)精確測量

    多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能
    奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*消除,以確保實現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

    作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量

    共聚焦自動對焦系統(tǒng)光路

    隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。

    嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
    奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的***度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。


    測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
    STM7測量顯微鏡設(shè)計注重易用性
    提供載物臺以適合眼下的樣本大小
     

    [常見問題] 
    短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
    目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
    由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上,以實現(xiàn)一次性同時測量。

     

    [STM7解決方案]
    共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用,分別為:50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
    Ÿ 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。
    Ÿ 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。

    使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察
    [常見問題]
    大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡,無法同時滿足多種觀察要求。
    [STM7解決方案]
    奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細(xì)樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇*的觀察方法。
     

    測量物鏡
    由于測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。

    金相物鏡
    可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場,偏光和微分干涉觀察。

    奧林巴斯Olympus STM7工業(yè)測量顯微鏡規(guī)格

     

    小型手動鏡架
    STM7-SF

    小型電動鏡架
    STM7-SFA

    中型手動鏡架
    STM7-MF

    中型電動鏡架
    STM7-MAF

    大型手動鏡架
    STM7-LF

    大型鏡架
    STM7-LFA

    顯微鏡
    鏡架


    聚焦

    垂直移動范圍

    175 mm

    145 mm

    zui大的測量高度

    120 mm(配備測量物鏡)
    175 mm(配備金相物鏡)

    90 mm(配備測量物鏡)
    145 mm*1(配備金相物鏡)

    Z軸測量分辨率

    0.1 μm

    Z軸驅(qū)動方法

    手動同軸
    微調(diào)/粗調(diào)
    焦旋鈕

    電馬達(dá)驅(qū)動:
    ●聚焦按鈕:
    移動速度
    8 mm/s(zui大)
    ●微/粗調(diào)焦旋鈕:
    微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
    一周移動量)
    有4檔可供選擇
    (800 μm,400μm,
    100 μm,50 μm)

    手動同軸
    微調(diào)/粗調(diào)
    焦旋鈕

    電馬達(dá)驅(qū)動:
    ●聚焦按鈕:
    移動速度
    8 mm/s(zui大)
    ●微/粗調(diào)焦旋鈕:
    微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
    一周移動量)
    有4檔可供選擇
    (800 μm,400μm,
    100 μm,50 μm)

    手動同軸
    微調(diào)/粗調(diào)
    焦旋鈕

    電馬達(dá)驅(qū)動:
    ●聚焦按鈕:
    移動速度
    8 mm/s(zui大)
    ●微/粗調(diào)焦旋鈕:
    微調(diào)焦速度(旋轉(zhuǎn)
    一周移動量)
    有4檔可供選擇
    (800 μm,400μm,
    100 μm,50 μm)

    照明

    LED照明

    白色:用于反射光照明,綠色:用于透射光照明

    鏡筒

    正像單目鏡筒,正像三目鏡筒(100:0/0:100)

    物鏡

    測量顯微鏡用

    MM6-OB系列

    金相顯微鏡用

    MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列

    目鏡

    MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22)

    載物臺

    測量范圍

    STM7-CS50:
    X
    軸 50 mm, Y軸 50 mm
    STM7-CS100:
    X軸 100 mm, Y軸 100 mm

    STM7-CS200:
    X
    軸 200 mm, Y軸 200 mm

    STM7-CS300:
    X
    軸 300 mm, Y軸 300 mm

    測量***度
    (L:測量長度)

    STM7-CS50: (3+L/50) μm
    STM7-CS100: (3+2L/100) μm

    (3+4L/200) μm

    (3+6L/200) μm

    ***度保證重量

    STM7-CS50: 5 kg
    STM7-CS100: 6 kg

    10 kg

    15 kg

    計數(shù)器顯示

    軸數(shù)

    3

    單位

    毫米/微米/英寸/密耳

    zui小分辨率

    0.1 μm

    外形尺寸(寬×長×高)(mm)

    466 x 583
    x651

    466 x 583 x 811

    606 x 762 x 651

    606 x 762 x 811

    804 x 1024 x 686

    804 x 1024 x 844

    重量

    約84 kg

    約92 kg

    約152 kg

    約159 kg

    約277 kg

    約284 kg

    額定功率

    100-120/220-
    240V ~
    50/60Hz
    0.3A/0.2A

    100-120/220-
    240V ~ 50/60Hz
    0.6A/0.35A

    100-120/220-
    240V ~ 50/60Hz
    0.3A/0.2A

    100-120/220-
    240V ~ 50/60Hz
    0.6A/0.35A

    100-120/220-
    240V ~ 50/60Hz
    0.3A/0.2A

    100-120/220-
    240V ~ 50/60Hz
    0.6A/0.35A

    *1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時,可以將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。

    物鏡工作距離

    倍率

    1x

    3x

    5x

    10x

    20x

    50x

    100x

    物鏡

    測量物鏡

    MM6-OB系列

    59.6

    76.8

    65.4

    50.5

    -

    -

    -

    金相物鏡

    MPLFLN系列

    明場

    -

    -

    20.0

    11.0

    3.1

    1.0

    1.0

    LMPLFLN系列

    長工作距離

    -

    -

    22.5

    21.0

    12.0

    10.6

    3.4

    MPLFLN-BD系列

    明場/暗場

    -

    -

    12.0

    6.5

    3.0

    1.0

    1.0

    LMPLFLN-BD系列

    明場/暗場
    長工作距離

           

     

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