Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀

Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀?是一款適用于各種表面的快速非接觸式三維輪廓儀。XY自動平臺，而Z軸是手動的。納米系統主要是為R&D、高校和過程管理用戶而設計。Nanosystem用自己Patented算法和白光干涉技術創造硬件和軟件。它可以通過拼接函數測量大視場(500mm²)。Patented WSI/PSI技術測量各種表面材料和參數，包括表面紋理、形狀、臺階高度和更高的二維和三維剖面(0.1 nm-垂直和0.2 um-橫向分辨率)。Patented WSI/PSI技術測量各種表面材料和參數，包括表面紋理的2D和3D輪廓，形狀，臺階高度及以上(0.1nm-垂直和0.2微米-橫向分辨率)。

白光掃描干涉技術(WSI)是一種測量高分辨率(0.1nm)、高速測量表面積、高度和體積的技術。在不破壞任何破壞的情況下，納米系統的WSI技術(白光掃描干涉法)能在幾秒鐘內從0.1nm到10000米范圍內測量樣品，并提供真實的樣品三維形狀。此外，重復性小于0.1%(1σ)，無論放大，z軸分辨率為0.1nm。基于納米系統技術的精度(高精度、重復性和重復性)，該產品可廣泛應用于半導體、印刷電路板、顯示、工程部件、化工材料、光學部件、生物、R&D等領域。

Nanosystem NV-2400非接觸式3D輪廓儀提供高分辨率(0.1nm)、10萬倍放大率(10 Mm)和高清晰度圖像，在0.1nm至10000 m范圍內，在2秒內測量樣品，提供真實的2D/3D樣品形狀，無需準備(只需將樣品直接放在舞臺上)，測量任意尺寸和幾乎任何材料的樣品(反射率為1%)。

NV-2400的優點

·       優良的測量精度

·       抗振動設計

·       快速測量速度

·       友好的測量界面

·       Stitching功能

·       2D和3D多功能性能

主要功能

·       3D 形貌測量

·       粗糙度 (ISO 25178) 和平整度 (選項)

·       高度，深度，寬度(從亞納米到10mm)·

·       面積信息(體積，面積)

·       2D和3D 測量

產品規格

·       干涉物鏡：5個物鏡可選

·       掃描范圍：0-180um（270um，5mm可選）

·       垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

·       傾斜臺：±6°

·       Z軸行程：100mm（手動）

·       工作臺面：100X100mm（程控)